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48L四氟化碳四氟化碳，又名四氟甲烷，主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤(rùn)滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。
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